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雙面研磨機

TDL-600/1200

該系列雙面研磨機是一款高精度、高穩定性的研磨加工設備，具備上盤、下盤、內環主動驅動，可根據客戶需求定制游星輪，通過搭配不同材質的研磨盤和不同粒徑及材質的研磨液，實現各類半導體材料的雙面研磨加工。

TDL-600 TDL-1200

加壓方式

氣囊

研磨壓力

Max400 kgf

上下拋光盤尺寸

OD630 mm

游星輪規格

9B*5

Features

產品特點

加壓方式

氣囊加壓方式比例閥精確控制壓力

加工方式

雙面加工

工藝優化

獨特的研磨盤面型控制工藝

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