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半自動液體蠟貼片機
TLB-360S/485S
該系列設備是半自動液體蠟貼片機,采用手動上片、手動取放搬運陶瓷盤方式,自動完成滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片工序,采用氣囊壓片,貼蠟效果好,精度高,適用于各種半導體襯底材料拋光前的貼片。
TLB-360S
TLB-485S
晶圓尺寸
2-6英寸
陶瓷盤規(guī)格
OD360 mm
壓片裝置
氣囊+氣缸二段壓片
產(chǎn)品咨詢
Features
產(chǎn)品特點
功能全面
氣囊壓片 貼蠟精度高
貼蠟工藝
滴蠟-甩蠟-烘烤-貼片-加壓-冷卻
操作簡便
滴蠟、甩蠟、烘烤、壓片均為自動作
配置豐富
配置冷水機 提升貼蠟效率
兼容性好
可適配360/485mm陶瓷盤 可在程序中切換
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