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單面拋光機
TAP-400/450/500/600 series
該系列拋光機是雙軸高精密單面拋光設備,設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭,真空吸附固定晶圓,氣囊加壓,拋光壓頭自轉并兼具擺動功能,適用于各種半導體材料的拋光。
TAP-400
TAP-450
TAP-500
TAP-600
拋光盤規格
OD400 mm
拋光頭數量
2個
拋光頭擺動
擺幅擺速可調
產品咨詢
Features
產品特點
驅動形式
拋光壓頭自轉&擺動驅動系統
加壓方式
真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
恒溫控制
拋光盤溫度控制系統
配置豐富
雙軸加工 配置拋光墊修整器
兼容性好
可依據不同種類晶圓配置相應拋光壓頭
壓力校準
精密稱重傳感器監測下壓壓力
加工便捷
可配置半自動loading上下片系統
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