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單面拋光機
TAP-400/450/500/600 series
該系列拋光機是雙軸高精密單面拋光設備,設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭,真空吸附固定晶圓,氣囊加壓,拋光壓頭自轉并兼具擺動功能,適用于各種半導體材料的拋光。
  • 拋光盤規格

    OD400 mm

  • 拋光頭數量

    2個

  • 拋光頭擺動

    擺幅擺速可調

  • Features
    產品特點
    驅動形式
    拋光壓頭自轉&擺動驅動系統
    加壓方式
    真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
    恒溫控制
    拋光盤溫度控制系統
    配置豐富
    雙軸加工 配置拋光墊修整器
    兼容性好
    可依據不同種類晶圓配置相應拋光壓頭
    壓力校準
    精密稱重傳感器監測下壓壓力
    加工便捷
    可配置半自動loading上下片系統
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